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光學(xué)平臺(tái)：Nano系列小型主動(dòng)隔振平臺(tái)，專(zhuān)為小型和輕型應(yīng)用而設(shè)計(jì)！自從高分辨率測(cè)量和制造技術(shù)達(dá)到納米尺度以來(lái)，振動(dòng)就一直是一個(gè)重要問(wèn)題。有效消除振動(dòng)干擾是獲得精確和可重復(fù)測(cè)量結(jié)果的關(guān)鍵。解決方法是將儀器與振動(dòng)源隔離開(kāi)來(lái)。

光學(xué)平臺(tái)：i4系列桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)，用于搭配掃描電子顯微鏡，六自由度主動(dòng)隔振。

氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)NAP系列是卓立漢光采用三線(xiàn)擺技術(shù)、層流阻尼技術(shù)所設(shè)計(jì)的高性能氣浮隔振平臺(tái)，豎直方向和水平方向隔振性能好、振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間短。

光纖專(zhuān)用滑臺(tái)FP系列特點(diǎn)：主體材料為鋁合金，耐腐蝕性好，結(jié)構(gòu)緊湊，性?xún)r(jià)比高，左右手成對(duì)使用，調(diào)整方便

對(duì)位平臺(tái)XYR系列是卓立漢光為解決工業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)上，對(duì)工件進(jìn)行高精度、高重復(fù)使用頻率對(duì)位、邦定、貼合等使用要求而開(kāi)發(fā)的三軸并聯(lián)式對(duì)位機(jī)構(gòu)。每臺(tái)平臺(tái)，由上臺(tái)面、下底面及中間的 4 套模組構(gòu)成，每套模組均采用交叉滾柱導(dǎo)軌和交叉滾子軸承導(dǎo)向，帶驅(qū)動(dòng)模組（3 套）采用小導(dǎo)程滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，標(biāo)配步進(jìn)電機(jī)，也可換裝五相步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)。

XY 系列產(chǎn)品是卓立漢光為解決工業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)上，對(duì)工件進(jìn)行高精度、高重復(fù)使用頻率掃描等使用要求而開(kāi)發(fā)的二維整體式對(duì)位平臺(tái)，XY 系列已全面取代老款 TSAW 及 MScope 系列產(chǎn)品。XY整體二維對(duì)位平臺(tái)采用交叉滾柱導(dǎo)軌，滾珠絲杠傳動(dòng)，整體式設(shè)計(jì)，可有效提高正交度和運(yùn)動(dòng)精度。中心設(shè)計(jì)有通光孔，通光孔也可另配玻璃或鋁合金蓋板，實(shí)現(xiàn)透射、反射式的掃描或?qū)ξ恍枨蟆?/p>